微流體系統領域是PDMS中常見的一種應用，它是根據用戶要求將指定的硅氧烷結構化，用等離子體清洗機處理，能將PDMS晶片，硅片或其它基材長久地涂覆于該晶片上。
等離子清洗機 / 等離子刻蝕機 / 等離子處理機 / 等離子去膠機 / 等離子表面處理機，等離子體清洗機，刻蝕表面改性
等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，Plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗設備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理設備廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場合。
通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂，等離子體清洗機，刻蝕表面改性
等離子清洗機對晶圓表面預處理增加表面親水分子團,提高表面能量，促進粘附性
利用等離子清洗機來進行微流控PDMS芯片的等離子體鍵合，使用等離子清洗機能改變玻璃和PDMS的表面性質。等離子體清洗機的處理會改變玻璃和PDMS芯片表面的化學性質并允許把帶有微通道的PDMS粘接到其他基底上如(PDMS或玻璃)。