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    技術文章
    


    
    
        
        
    
            
    等離子設備半導體行業應用
    
        
    
        
    
            
    在光刻膠灰化、晶圓減薄和應力去除、打線前的bond pad清潔、封膠前的活化等應用中應用的微波等離子清洗機對硅、三五族化合物、鈮酸鋰等半導體材料進行處理。微波等離子體清洗機特別適合于處理對靜電敏感的器件    
        
    
    
    


    



    

    
        
        
        
    
    
    
	



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