等離子清洗機可用于清洗、刻蝕、活化和表面準備等。主要是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等目的。
等離子清洗機的表面刻蝕功能
用等離子清洗機，等離子體中的大量離子、激發態分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不僅去除了表面原有的污染物和雜質，而且會產生刻蝕作用材料表面進行處理達到凹蝕蝕刻的效果，形成許多微細坑洼，增大了材料的比表面。提高材料間的粘接力與持久力和材料表面的潤濕性能。
等離子清洗機產生的低溫等離子體有獨特的物理和化學特性，可以用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子接枝聚合，等離子活化、等離子沉積等表面改性工藝品
等離子表面改性設備是非常先進的等離子清洗機，即利用等離子體和才料表面進行相互作用的過程，通過等離子體里面的各類活性粒子撞擊材料表面，從而大大提高材料表面特性
等離子清洗機（Plasma Cleaner）又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂
等離子清洗機的表面刻蝕功能
使用等離子清洗機可以將材料表面進行處理達到凹蝕蝕刻的效果，可提高材料間的粘接力與持久力，產品良率與產品品質也明顯提高。